工作多年的一些关于厂务建设、设计、运维经验，分享给大家

第一章 系统设计

1. PDS系统定义及分类(PDS系统定义及分类可以根据不同厂区的不同要求有所改变),

NO.

Description Drain

definition

Abbreviation

1

Acid/Caustic waste water drain

incl. SC2, HCl , H2SO4 , H2O2 , Developer（不含胺，氟）, scrubber and exhaust drain waste water

DWW-A

2

Reclaim water-first drain

DI (Hot & Cold) First rinse ,the waste rinse water

DRW-F

3

Reclaim water-last drain

incl. Second rinse and after rinse waste water

DRW-L

4

MUA condensate drain

MUA condensate water drain

DMUA

5

Concentrated fluoride drain

Above 1 wt % CHF waste water

DCHF

6

Diluted fluoride drain

DHF 20:1 , 50:1 , 100:1 drain, M1/ M2 ,

DDHF

7

IPA drain

IPA drain(浓)

DIPA

8

Solvent-1 drain

incl. NMP, Acetone, Diluted IPA drain waste water, GC 废溶剂排放

DSOL-1

9

Solvent-2 drain

incl. EKC waste water drain

DSOL-2

10

Local solvent-1 drain

incl. EBR waste water drain

DLocal-1

11

Local solvent-2 drain

incl. TOK 105, C260, A515 waste water drain

DLocal-2

12

Sulphuric acid drain

incl. H2SO4 drain water,

DH2SO4

13

Phosphoric acid drain

incl. H3PO4，M2 drain water,

DH3PO4

14

Grinding waste drain

incl.Backside-grinding drain water

DBG

15

Copper waste water drain

incl. Slurry-Copper clean drain water，ECP CuSO4 tools Rinse water

DWW-Cu

16

Copper concentrate drain

incl.Slurry-Copper concentrate water

DSlurry-Cu

17

Metal slurry drain

incl. Slurry-Metal drain water

DSlurry-Metal

18

Oxide slurry drain

incl. Slurry-Oxide drain water

DSlurry-Oxide

19

Floor drain

Fab I & 3B 2F floor waste water (except HF,others acid and caustic could drain to this piping)

DFloor drain

20

NH4OH drain

incl. NH4OH drain waste water，SC1，BOE 10:1, 50:1 , 130:1, BOE 1200,TMAH，

DNH4OH

21

CMP Clean Water drain

drain water

DCMP-Clean

2. PDS管路设计通则

2.1 承包商应该设计和安装附属的管道支撑钢架以增强主建筑钢构的需要

2.2 大部分情况管线设计给予稍微倾斜,范围在0.3-0.5%，管线倾斜给予管线充足的排放, 同时消除介于管支架间下垂之影响

2.3 管架位置必须和管线上之配件同作考虑来决定, 如重阀,主管,法兰,插接等

2.4 禁止用一管道支撑另一管道

2.5 水平管道吊杆应该用集中负荷型夹具附挂在钢梁上或焊接在插在混泥土内的梁片

2.6 设计管路原则上不留阀，管路尽可能直接能重力流到处理点。进出建筑物时，为避免建筑物沉降影响管路使用，建议增加软接。

3. PDS管路安装设计要求

3.1 通常情况下，分段的DWWA支管在联结合一后再接入DWWA主管。这种接法可能因各分段的DWWA水质不同而在联结段发生沉淀反应引起堵管的风险（LESSON LEARN 4.2）。并且为防止化学反应，堵塞管道，应该避免把local scrubber的排水连接到DWWA管路，而建议铺设单独排放到WWT系统的管路（LESSON LEARN 4.16）。

3.2 不同种类的SOLVENT最好可以用不同的Drain管直接排放到相应的桶槽内，以免不同种类的Solvent相互反应而引起结晶或沉淀堵管（LESSON LEARN 4.1）。

3.3 BG废水排放管路在由机台排放至管路之前建议安装沉淀槽，预沉淀其中部分容易沉淀的SS，以免造成后段堵管（LESSON LEARN 4.3）。

3.4 设计施工中要考虑Drain Check Sensor与机台的连锁，是否会因sensor的异常而引起机台当机（LESSON LEARN 4.4）。

3.5 施工过程中要考虑在SCRUBBER Drain系统排放管路安装过滤器，以防止因为结晶的硫酸铵堵塞管路（LESSON LEARN 4.5）。